Christian Voigt
Mit der 225 kV Microfokus-Röhre und der 190 kV Nanofokus-Röhre erlaubt dieses System hochauflösende 2D- und 3D-Aufnahmen von kleinster Mikroelektronik als auch Durchstrahlung von stärkerem Material. Die maximale Probengewichtskapazität beträgt 27 kg bei einem Durchmesser von 530 mm und einer Höhe von 800 mm. Dank einer Leistung von 320 W können CT-Scans in weniger als einer Minute durchgeführt werden. Die Nanofokus-Röhre ermöglicht zudem die Identifizierung von Defekten unter 1 µm Größe bei Proben unter 10 cm.
| Strahler | · 190 kV Nanofokus · 225 kV Microfokus |
| Ortsauflösung / Detailerkennbarkeit |
· 4 µm bei 1 min Quickscan mit 225kV
· > 150 nm bei 190 kV Nanofokus |
| CT FOV
Durchmesser x Höhe in mm |
· D325 x h270 bis D510 x h600 mit 225kV*
· D10 x h18 mm mit 190 kV Nanofokus |
| Werkstück max. Gew. | 27 kg |
| MPESD(TS) | · 5,9 µm + L/75 bei 225 kV |
| Pixel Pitch | 139 µm |
| Frame Rate | 30 Hz |
| Analysesoftware | · VGStudio
· ORS Dragonfly |
| Bildaufnahmemodi | · Quality Scan
· Quick Scan · Heli Extend · Heli Extend Dual |
| Anlagenmaße l x b x h in m |
2,9 x 1,6 x 2,1 |
| Anlagengewicht in kg | 6600 |