Spezifikationen | |
Hersteller | Micro Epsilon |
Typbezeichnung | Controller IFC 2421 mit Sensor IFS 2405-1 |
Messbereich | 1 mm |
Auflösung | 28 nm |
min. Dicke des Messobjekts | 0,05 mm |
Linearität Weg-/Abstandsmessung | < ± 0,25 µm |
Linearität Dickenmessung | < ± 0,5 µm |