Spezifikationen
Hersteller Micro Epsilon
Typbezeichnung Controller IFC 2421 mit Sensor IFS 2405-1
Messbereich 1 mm
Auflösung 28 nm
min. Dicke des Messobjekts 0,05 mm
Linearität Weg-/Abstandsmessung < ± 0,25 µm
Linearität Dickenmessung < ± 0,5 µm

Ansprechpartner

Dr.-Ing. Sina Martin